Вакуумные камеры наших установок, как правило, камерного или шахтного типа. Камеры камерного типа имеют боковую дверь, удобны в обслуживании, универсальны и широко используются для обработки различных изделий. Камеры шахтного типа имеют верхнюю крышку с механизмом подъема и предназначены, как правило, для обработки крупногабаритных тяжелых изделий, загружаемых с использованием грузоподъемных механизмов.
Камеры изготавливаются из малогазящих нержавеющих сталей. Стенки камеры имеют водяную "рубашку" для охлаждения во время работы и подогрева горячей водой при открытии камеры с целью предотвращения кондесации паров воды и обезгаживания во время откачки.
Размеры вакуумных камер, количество окон для крепления источников плазмы и других узлов, "гляделок" определяются требованиями и задачами, решаемыми на установке.
На выпущенных нами и работающих установках размеры камер от Ø600×600 мм (~200 л) до Ø1200×1400 мм (~1600 л) и количество источников плазмы до 9.
На рисунках приведены примеры камер наших установок.
Камерного типа с размерами Ø1000×1200 мм.
Шахтного типа с размерами Ø900×900 мм.
Камерного типа с размерами Ø700×600 мм.
Шахтного типа с размерами Ø1100×1000 мм.