Водяные системы охлаждения и прогрева.

Система охлаждения и прогрева узлов установки обеспечивает:

• охлаждение камеры и других узлов во время работы установки;
• прогрев стенок камеры и других узлов для предотвращения кондесации паров воды и обезгаживания во время открытия камеры и откачки.

На рисунке показана типовая схема охлаждения и прогрева с узлами, которые, как правило подключаются к системе.

Система имеет автономную систему нагрева воды. Температура воды в системе поддерживается автоматически путем включения-выключения нагревательного бака и электромагнитных клапанов, которые подают и закрывают воду в систему.

Система имет сигнализацию наличия протока воды в отдельных каналах и систему аварийного отключения соответствующих устройств при прекращении подачи воды.

Системы охлаждения и прогрева изготавливаются как с открытым, так и закрытым сливом. Система с открытым сливом имеет открытую воронку для слива воды. Система с закрытым сливом не имеет открытого слива воды и используется, как правило, для закольцованных систем автономного охлаждения, имеющих насосы для циркуляции воды.

На рисунке показаны примеры систем охлаждения и прогрева.

Системы с открытым(слева) и закрытым (справа) сливами.