Cистема подачи газа обеспечивает подачу смеси рабочих газов с автоматическим поддержанием соотношения различных газов в и автоматическим регулированием общего расхода для поддержания заданного давления в камере.
На рисунке показана схема двухканальной системы подачи газа.
Схема двухканальной системы подачи газа
Система состоит из исполнительного блока и электронного программмируемого блока управления. Исполнительный блок изготовлен на базе высокоточных быстродействующих датчиков расхода газа и импульсных клапанов-натекателей. На индикатор блока управления в различных режимах выводятся:
Количество каналов системы определяется требованиями к конкретной установке.
На рисунке показан пример двухканальной системы подачи газа.
Двухканальный исполнительный блок.
Блок управления. Справа показаны примеры индикациии различных параметров.