Источники электропитания.

Основными требованиями, предъявляемыми к источникам электропитания различных систем плазменных установок, являются надежная работа и стабильность параметров при длительных режимах эксплуатации, в некоторых случаях круглосуточно. Даже кратковременное отклонение выходных параметров, приводит к нарушению режима работы установки и снижению качества получаемых материалов и покрытий.

Источники выполнены на мощных быстродействующих транзисторных и диодных модулях по схемам с высокочастотными инверторами, работающими на частотах до 30 кГц. Представляют собой функционально завершенные изделия и собраны в 19 дюймовых конструктивах.

Источник электропитания дугового разряда

Стабилизированный источник электропитания дугового разряда предназначен для питания дугового разряда источника плазмы с сепарацией потока типа SPS-1 и прямоточных источников плазмы с катодами большой площади. Источник имеет регулируемый рабочий ток от 30 до 250 А, при рабочем напряжение до 80 В.

 

Источник электропитания систем источника плазмы с сепарацией потока типа SPS-1

Источник электропитания систем источника плазмы с сепарацией потока типа SPS-1 включает два источника - источник питания электромагнитной катушки и источник питания корпуса сепаратора. Стабилизированный источник питания электромагнитной катушки имеет регулируемый рабочий ток от 5 до 30 А при рабочем напряжении до 90 В. Стабилизированный источник питания корпуса сепаратора имеет регулируемый рабочий ток от 5 до 30 А при рабочем напряжении до 40 В и быстродействующую защиту от превышения рабочего тока.

 

Источник электропитания прямоточного источника плазмы - испарителя

Источник электропитания испарителя включает два источника - источник питания дугового разряда испарителя и источник питания электромагнитной фокусирующей катушки. Стабилизированный источник питания дугового разряда испарителя имеет регулируемый рабочий ток от 30 до 120 А при рабочем напряжении до 40 В. Стабилизированный источник питания фокусирующей катушки имеет регулируемый рабочий ток от 0 до 1 А при рабочем напряжении до 100 В.

 

Стойка источников электропитания установки

Стойка источников электропитания установки, оснащенной двумя источниками плазмы с сепарацией потока SPS-1 и четырьмя прямоточными источниками плазмы - испарителями. Стойка включает два источника питания дугового разряда и два источника питания систем источников плазмы SPS-1, четыре источника электропитания прямоточных источников плазмы - испарителей и высоковольтный источник питания подложки.