Механизмы вращения изделий обеспечивают нанесение покрытий на изделия сложной формы и перемещение изделий и подложек под разные источники плазмы для нанесения сложных многокомпонентных и многослойных покрытий. В наших установках, как правило, используются механизмы трех типов:
Планетарный механизм обеспечивает одновременное вращение изделий вокруг своей оси и вокруг оси камеры установки. Вращение вокруг оси изделия обеспечивает нанесение покрытий на изделия с осевой симметрией. Вращение вокруг оси камеры обеспечивает перемещение изделий под разные источники плазмы, расположенные на боковых поверхностях камеры. Предусмотрены режимы работы:
Двойной планетарный механизм обеспечивает одновременно тройное вращение изделий вокруг своей оси, вокруг оси сателлита и вокруг оси к амеры - имеет дополнительное вращение вокруг оси сателлита по сравнению с планетарным механизмом. Используется для более рациональной загрузки камеры установки при обработки мелкоразмерных изделий с осевой симметрией.
Механизм вращения в двух взаимноперпендикулярных или наклонных плоскостях используется для нанесения на изделия сложной формы.
На рисунках приведены примеры механизмов вращения наших установок.
Планетарный механизм вращения. (Справа - с размещенными на нем изделиями).
Механизм вращения в двух взаимно перпендикулярных вертикальной и горизонтальной плоскостях.
Механизм показан с закрепленным на нем изделием - колесом турбины.(Справа - без защитных экранов).