В наших вакуумных системах в зависимости от требований используются насосы различных типов пластинчатороторные, двухроторные (насосы Рутса), паромаслянные, турбомолекулярные, адсорбционные и другие.
На рисунке показана схема типовой вакуумной системы на базе форвакуумного, двухроторного (насоса Рутса) и диффузионного паромаслянного насосов.
Схема вакуумной системы на базе форвакуумного, двухроторного и диффузионного насосов.
Линия форвакуумной откачки двухступенчатая: первая ступень на базе форвакуумного (как правило пластинчатороторного насоса), вторая на базе двухроторного насоса Рутса. Предварительная откачка рабочей камеры с атмосферы через байпасную линию через фильтр повышает надежность и ресурс работы механических насосов. Линия диффузионной откачки - на базе высокопроизводительного паромаслянного насоса.
Такая система на базе диффузионного паромаслянного насоса обеспечивает откачку рабочей камеры до 1-5х10-5 мм.рт.ст. Время откачки наших установок не превышает 12-15 мин. Это обеспечено подбором насосов с соответствующей производительностью.
При особых требованиях к вакууму вакуумные системы изготавливаются на базе турбомолекулярных, адсорбционных и других насосов.
Вакуумные системы оснащены набором всех необходимых блокировок для защиты элементов в нештатных ситуциях и обеспечивающим безаварийную работу. Вакуумные системы могут работать как в ручном, так и автоматическом режимах.
На рисунке приведен пример нашей вакуумной системы.
Пример вакуумной системы на базе форвакуумного, двухроторного и диффузионного насосов.