Наши установки.

Принцип построения установок.
Узлы и системы установки.
Подробно о назначении и характеристиках узлов и систем установок.
Примеры наших установок.

Принцип построения установок.

Наши установки строятся по модульному принципу - комплектуются из универсальных узлов и систем под конкретные задачи и требования.

На рисунке приведена упрощенная схема типовой установки.

Схема установки.

Упрощенный принцип действия установки заключается в следующем:

В источниках плазмы, различного типа, расположенных на стенках вакуумной камеры формируется поток плазмы на основе ионов материала катода источников плазмы и ионов рабочего газа, подаваемого в камеру. Поток направляется на подложки или изделия, расположенные в вакуумной камере на механизме вращения. Ионы потока плазмы ускоряются напряжением от источника питания подложки, приложенным к механизму вращения. Ионы плазмы бомбардируют поверхность подложки. В зависимости от технологических параметров, получаем:

ионное травление поверхности подложки и ее нагрев;
образование диффузионного приповерхностного слоя, насыщенного атомами рабочего газа - например азотирование поверхности;
нанесения покрытия и формирование материалов на поверхности подложки.

Узлы и системы установки.

Установка, как правило, состоит из следующих узлов и устройств:

Вакуумная камера.
Водяная системы охлаждения и прогрева узлов установки.
Механизмы вращения изделий.
Вакуумная система.
Система подачи газа.
Различные источники плазмы.
Источники электропитания различных систем.
Высоковольтный источник питания подложки.
Автоматизированная система управления установкой.

Посмотрите подробнее о назначении и характеристках узлов и систем установок.

Примеры наших установок.