Наши установки.

Принцип построения установок.
Узлы и системы установки.
                 Подробно о назначении и характеристиках узлов и систем установок.
Примеры наших установок.

Принцип построения установок.

Наши установки строятся по модульному принципу - комплектуются из универсальных узлов и систем под конкретные задачи и требования.

На рисунке приведена упрощенная схема типовой установки.

 

Схема установки.

 

Упрощенный принцип действия установки заключается в следующем:

В источниках плазмы, различного типа, расположенных на стенках вакуумной камеры формируется поток плазмы на основе ионов материала катода источников плазмы и ионов рабочего газа, подаваемого в камеру. Поток направляется на подложки или изделия, расположенные в вакуумной камере на механизме вращения. Ионы потока плазмы ускоряются напряжением от источника питания подложки, приложенным к механизму вращения. Ионы плазмы бомбардируют поверхность подложки. В зависимости от технологических параметров, получаем:

• ионное травление поверхности подложки и ее нагрев;
• образование диффузионного приповерхностного слоя, насыщенного атомами рабочего газа - например азотирование поверхности;
• нанесения покрытия и формирование материалов на поверхности подложки.

Узлы и системы установки.

Установка, как правило, состоит из следующих узлов и устройств:

1. Вакуумная камера.
2. Водяная системы охлаждения и прогрева узлов установки.
3. Механизмы вращения изделий.
4. Вакуумная система.
5. Система подачи газа.
6. Различные источники плазмы.
7. Источники электропитания различных систем.
8. Высоковольтный источник питания подложки.
9. Автоматизированная система управления установкой.

Посмотрите подробнее о назначении и характеристках узлов и систем установок. 

Примеры наших установок.

1. Универсальная установка для получения покрытий и материалов.
2. Установка для нанесения упрочняющих и декоративных покрытий.
3. Установка для получения многокомпонентных многослойных наноструктурированных материалов и покрытий.
4. Установка для обработки длинномерных изделий.
5. Установка для нанесения толстых покрытий на крупогабаритные изделия сложной формы.
6. Модернизированная установка ННВ-6.6.