Вакуумные камеры

 

УСТАНОВКИ

ИСТОЧНИКИ ПЛАЗМЫ

ПОКРЫТИЯ
Структура

Свойства


НОВЫЕ РАЗРАБОТКИ

Установка для нанесения толстых покрытий на крупногабаритные изделия сложной формы (ВИТ 20).

Нитридная керамика.

Керамоподобные материалы и покрытий на основе Al2O3 (сапфир).

Диффузионные барьеры и контактные слои для микроэлектроники.

Наноразмерные углеродные и алмазоподобные покрытия (DLC).

Наши работы.

I. Оборудование.
II. Технологические работы.
III. Новые разработки.

I. Оборудование.

Наше оборудование работает на предприятиях России и стран СНГ, таких как:

  • ОАО "НПО Энергомаш им. академика В.П.Глушко" - две установки ВИТ-7 и ВИТ-10;
  • ОАО "АВТОВАЗ" - три установки ВИТ-6, ВИТ-14, ВИТ-15;
  • ОАО "Кировградский завод твердых сплавов" - две установки ВИТ-16 и ВИТ-17;
  • ООО Фирма "АЛГ" - две установки ВИТ-18 и ВИТ-19;
  • ОАО "Роберт Бош Саратов" - установка ВИТ-12;
  • ОАО "Чепецкий механический завод" - установка ВИТ-13;
  • ОАО "МИЗ" (Московский инструментальный завод) - две установки;
  • ЗАО "Новокраматорский машиностроительный завод";
  • ОАО "Волгабурмаш";
  • ОАО "Ковровский механический завод";
  • ОАО "Росстроймаш";
  • ООО "Мосштамп Завод";
  • ООО "Завод вакуумного стекла";
  • и других предприятиях;

на предприятиях зарубежных стран, таких как:

  • "AIS INDUSTRIES" (Китай) - две установки;
  • Магдебургский университет (Германия) - две установки;
  • «P.COAT P.V.D. Coating Technologies" (Израиль);
  • "IBT group" (Израиль);
  • и других предприятиях и странах.

Кроме того, наши узлы и системы работают на других вакуммных установках как в России, так и зарубежом. Например в:

  • ЗАО "ВПТ-М" - системы управления установками и источники плазмы;
  • ОАО НИАТ - системы электропитания установками;
  • ОАО "ВНИИинструмент" - различные узлы и системы установок:
  • "HIT" (Франция) - источники плазмы;
  • и других предприятиях.

II. Технологические работы.

Наши рабочие технологии - это технологии, разработанные на основе базовых технологий, для:

  • получения покрытий и материалов с определенными заданными свойствами;
  • обработки конкретных изделий.

Рабочие технологии, как правило, включают:

  • технологию предварительной подготовки изделий и подложек - механическая доводка поверхности, химическое травление, обезжиривание, мойка и т.д.;
  • документацию на технологическую оснастку (как для размещения изделий и подложек в камере установки, так и для проведения предварительных операций, включая мойку изделий и т.д.);
  • инструкции по подготовительным работам на установке, по размещению подложек и изделий в камере установки;
  • технологические режимы работы установки, включая режимы ионной очистки, нагрева изделий и подложек, получения покрытий и материалов, остывания, другие этапы и операции;
  • другие необходимые документы и инструкции (например, методику оценки качества полученных покрытий и материалов, инструкции по профилактическим работам на установке и т.д.).

В требуемых случаях составляется маршрутная технологическая карта.

Некоторые наши рабочие технологии.

Технология нанесения TiAlN (AlTiN) с монометаллических катодов - Ti и Al.
Технологии нанесения чистых металлов и соединений на их основе.
Технология нанесения упрочняющих покрытий на инструмент для высокоскоростной механической обработки.
Технология нанесения толстых защитных покрытий.
Технология получения многослойных материалов и покрытий.
Технология получения диффузионных приповерхностных слоев и комбинированных слоев - диффузионный подслой+покрытие (например, азотирование+покрытие).

Технология нанесения TiAlN (AlTiN) с монометаллических катодов - Ti и Al.
Технология нанесения TiAlN (AlTiN) с монометаллических катодов основана на одновременной работе нескольких источников плазмы SPS-1 с различными катодами (из титана и алюминия), формирование смешанного потока плазмы, содержащего ионы титана, алюминия и азота, и осаждения их на подложку. По сравнению с применяемыми технологиями нанесения покрытий TiAlN со сплавных или спеченных катодов, наша технология позволяет создавать:

  • покрытия и материалы с произвольным (заданным) соотношением элементов Ti и Al - не ограниченным соотношением элементов в сплавных или спеченных катодах;
  • градиентные покрытия и материалы - с изменяемым соотношением элементов по толщине;
  • многослойные покрытия с наноразмерными толщинами слоев и различным содержанием элементов в различных слоях.

Наша технология и полученные материалы и покрытия обладают всеми преимуществами технологий CALT SID. Кроме того, монометаллические катоды заметно дешевле дорогостоящих сплавных и спеченных катодов, что значительно удешевляет процесс получения материалов и покрытий.

Технология нанесения покрытий TiAlN внедрена, в частности, на ОАО "МИЗ" и ООО Фирма "АЛГ" для упрочнения твердосплавных режущих пластин, в том числ зуборезных. Стойкость пластин в производстве повышается от 3,5 до 4 раз и выше стойкости лучших зарубежных образцов.

Посмотрите подробнее о покрытии TiAlN на странице о свойствах покрытий.

Технологии нанесения чистых металлов и соединений на их основе.
Рабочие технологии нанесения чистых металлов и их соединений основаны на базовых технологиях CAT SID и обладают всеми преимуществами этих технологий. Разработаны технологии нанесения:

  • нитридов - TiN, ZrN, CrN и др.;
  • карбидов и карбонитридов TiCN, TiC;
  • окислов и оксидов, такие как Al2O3,TiO и др;
  • чистых металлов Ti, Cr, Ni, Al и др.

Эксплуатационные свойства и характеристики таких материалов и покрытий заметно выше характеристик аналогичных материалов, полученных традиционными электродуговыми методами.

Посмотрите подробнее о характеристиках наших покрытий.

Технология нанесения упрочняющих покрытий на инструмент для высокоскоростной механической обработки.
Технология нанесения многокомпонентных покрытий типа TiAlN, TiAlCrN и др., обладающих уникальной комбинацией свойств - высокой твердостью при высоких температурах вместе с тепловой и химической стабильностью, в том числе стабильностью к окислению.

Посмотрите подробнее о результатах испытания покрытий для высокоскоростной механической обработки на странице о свойствах покрытий.

Технология нанесения толстых защитных покрытий.
Технология позволяет получать толстые (до 500 мкм) однородные наноструктурированные газонепроницаемые химически нейтральные покрытия с высокой адгезией на изделиях сложной формы. Такие покрытия обеспечивают надежную работу изделий в агрессивных средах при высоких температурах.

Технология нанесения толстых защитных покрытий внедрена на ОАО "НПО Энергомаш им. академика В.П.Глушко" для упрочнения деталей ракетных двигателей первой ступени, работающих в сверхагрессивной среде ракетного топлива и жидкого кислорода при сверхвысоких температурах. Покрытия обеспечивают необходимый ресурс работы ракетных двигателей, в том числе, сверхмощных двигателей нового поколения.

Посмотрите подробнее об изделиях с толстыми термобарьерными газонепроницаемыми химически нейтральными покрытиями.

Технология получения многослойных материалов и покрытий.
Технология основана на попеременной или комбинированной работе различных источников плазмы SPS-1 с катодами из разного материала (либо попеременного перемещения подложки или изделий под различные источники плазмы), попеременной подаче в камеру установки различных рабочих газов и попеременным изменением технологических параметров.

На каждом этапе формируется моно- или многокомпонентный слой, состав и структура которого определяются материалом катода, работающего на данном этапе источника плазмы, рабочим газом и технологическими параметрами, установленными на данном этапе. Высокая адгезия между слоями обусловлена высокой чистотой потока плазмы и промежуточной ионной обработкой поверхности слоев - ионной травление, насыщение приповерхностного слоя атомами рабочего газа, создания поверхностных дефектов и т.д.

Толщины отдельных слоев составляют от нанометров до нескольких микрон или десятков микрон, в зависимости от требований к получаемым материалам или покрытиям.

Многослойные материалы с наноразмерными толщинами отдельных слоев обладают уникальными свойствами по сравнению с монолитными материалами. Многослойные покрытия имеют значительно более высокие эксплуатационные характеристики, чем однослойными. Так, например, многослойные упрочняющие покрытия с промежуточными керамоподобных слоями типа Al2O3 с низкой теплопроводностью значительно повышают стойкость режущего инструмента, в том числе, за счет меньшего нагрева инструмента, и позволяют работать на более жестких режимах и высоких скоростях резания.

Посмотрите подробнее структуру многокомпонентного многослойного покрытия.

Технология получения диффузионных приповерхностных слоев и комбинированных слоев - диффузионный подслой+покрытие (например, азотирование+покрытие).
Технология получения диффузионных слоев - слоев насыщенных атомами рабочих газов, например азотом - основывается на работе электродугового источника плазмы SPS-1 в режиме газовой плазмы. Толщина слоя и время его формирования зависят от материала подложки, типа рабочего газа и технологических параметров. Как правило, за 30-40 мин. формируется диффузионный слой толщиной 50-100 мкм.

Комбинированные слои - диффузионный слой+покрытие - формируются в едином цикле путем последовательной работы источника плазмы в режиме газовой плазмы и в режиме нанесения покрытий.

Служебные характеристики комбинированных покрытия выше характеристик чистых покрытий, в частности, за счет градиентного (а не резкого - ступенчатого) перехода характеристик сердцевины подложки (изделия) к характеристикам покрытия (в том числе, твердости, коэффициентов теплового расширения и т.д.).

Технология внедрена, в частности, на предприятии "AIS INDUSTRIES" (Китай), на котором для упрочнения изделий используются как чистые диффузионные слои (для лопаток кондиционеров), так и комбинированные слои (для режущего инструмента).

III. Новые разработки.

Мы постоянно ведем исследования, разрабатываем новое оборудование и технологии. В настоящее время ведем разработку:

  1. Автоматизированной установки для нанесения толстых защитных покрытий на крупногабаритные изделия сложной формы.
    Установка предназначена для для нанесения защитных покрытий на детали авиационных, ракетных и других сверхмощных энергетических. Посмотрите подробнее.


  2. Технологии получения материалов и покрытий на основе нитридной керамики, в том числе, нитрида алюминия AlN.
    Керамика на основе нитрида алюминия обладает уникальным сочетанием физических и электрических характеристик: аномально высокой теплопроводностью, хорошими электроизоляционными свойствами, умеренным коэффициентом теплового расширения, фотоэлектрическими свойствами, сохранением работоспособности в широком диапазоне температур. Такими свойствами обусловлена высокая перспектива применения AlN в микроэлектронике. Посмотрите подробнее.


  3. Технологии получения керамоподобных наноструктурированных слоев и покрытий на основе Al2O3 (сапфир). Такие покрытия перспективны для применения как в микроэлектронике (подложки электронных схем, светодиодов, солнечных батарей и т.д.), так и в машиностроениии (упрочняющие и другие функциональные слои, в том числе, в составе многослойных материалов и покрытий) и т.д. Посмотрите подробнее.

  4. Технологии получения барьерных и контактных слоев для элементов микроэлектроники, в том числе для термоэлектрических преобразователей на основе элементов Пельтье (Bi2Te3). Посмотрите подробнее.

  5. Наноразмерных углеродных и алмазоподобных покрытий (DLC).

Мы сотрудничаем со многими российскими и зарубежными научно-техническими организациями. У Вас возникли вопросы, интерес к сотрудничеству и совместным разработкам? Свяжитесь с нами прямо сейчас. Мы открыты к сотрудничеству.