|
![]() |
![]() ![]()
|
ИСТОЧНИКИ ПЛАЗМЫ Источник сепарированной газометаллической плазмы
|
Прямоточный источник плазмы - испарительПрямоточный электродуговой источник плазмы широко используется для нанесения твердых, износостойких, коррозионностойких, декоративных покрытий на режущий инструмент и других изделия. Недостатком источника является наличие в потоке плазмы микрочастиц материала катода и низкая степень ионизации газовой компоненты плазмы. Наличие микрочастиц в потоке плазмы не позволяет получать высококачественные однородные наноструктурированные многокомпонентные и многослойные материалы и покрытия. Из-за большого количества "капель" источник практически неприменим для получения материалов и покрытий на основе относительно легкоплавких материалов. Например, для получения материалов и покрытий на основе окислов и нитридов алюминия. Ниже приведены схема прямоточного источника плазмы - испарителя, фотографии источника и типовые повреждения покрытия микрочастицами материала катода. Посмотрите:
СХЕМА ПРЯМОТОЧНОГО ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ - ИСПАРИТЕЛЯ
ПРЯМОТОЧНЫЙ ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ - ИСПАРИТЕЛЬ (справа - вид из вакуумной камеры)
ТИПОВЫЕ ПОВРЕЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЯ МИКРОЧАСТИЦАМИ МАТЕРИАЛА КАТОДА
|