|
ПЕЧАТЬ КАРТА САЙТА
|
ИСТОЧНИКИ ПЛАЗМЫ Источник сепарированной газометаллической плазмы
|
Источник сепарированной газометаллической плазмы SPS-1.Электродуговой источник с сепарацией потока плазмы SPS-1 (Separated Plasma Source) открывает новое направление в вакуумной электродуговой технологии. Источник не только позволяет получать качественно новые покрытия в традиционной области применения плазменного электродугового метода - нанесение упрочняющих и других функциональных покрытий на инструмент и детали машин, но открывает возможность получения высокоэффективным электродуговым методом покрытий и материалов для таких областей промышленности как электроника, производство МЭМС - МикроЭлектроМеханических Систем и других микросистем, создание новых функциональных наноструктурированных материалов и наносистем. Ниже приведены схема источника, фотографии источника с закрытым и открым катодным узлом и примеры работы источника в аргоне и азоте.
Электродуговой источник с сепарацией потока плазмы SPS-1 формирует газометаллический пучок плазмы очищенный от микро- и нейтральных частиц с высокой степенью ионизации как металлической так и газовой составляющих. Источник позволяет управлять соотношением компонент (газовой и металлической) в потоке плазмы. В таблице приведены основные эксплуатационные характеристики источника. Для сравнения, в правой части таблицы, приведены эксплуатационные характеристики традиционного прямоточного источника плазмы - испарителя - установки ННВ-6.6.
На рисунке ниже приведены: слева - распределение скорости осаждения материала по поперечному сечению пучка на подложку, расположенную на расстоянии 160 мм от выхода источника плазмы; справа - распределение толщины покрытия по "глубине" - по боковой поверхности, параллельной направлению потока плазмы. С равномерностью до 20% диаметр "пятна" нанесения покрытия составляет 300 мм, а "глубина - 50 мм. На рисунке ниже приведена зависимость скорости травления подложки из стали 3 от ускоряющего напряжения при работе источника в режиме аргоновой газовой плазмы - "запертом" для ионов металла. Материалы и покрытия, получаемые с источником SPS-1, имеют однородную структуру и "гладкую" поверхность без повреждения каплями и микрочастицами. Посмотрите подробнее о структуре наших материалов и морфологии поверхности покрытий. Посмотрите о свойствах и особенностях покрытий и материалов, получаемые с источником SPS-1. Возможности и особенности технологий получения материалов и покрытий с источником SPS-1 изложены на странице "Технологии". Электродуговой источник с сепарацией потока плазмы SPS-1 это принципиально новые возможности плазменного электродугового метода не только в традиционных областях применения, но и в областях создания функциональных покрытий в микроэлектронике, создания новых функциональных наноструктурированных материалов и наносистем и других областях. |