Керамические покрытия на основе оксида алюминия

Оксид алюминия Al₂O₃ благодаря уникальному сочетанию свойств (высокая механическая прочность, твердость, износостойкость, огнеупорность, теплопроводность, химическая инертность) широко применяется в современной технике. На его основе создан широкий спектр высококачественных материалов для электроники, электротехники, машиностроения и ряда других отраслей промышленности.

Покрытия на основе Al₂O₃ имеют большую перспективу для применения:

• в машиностроениии как упрочняющие и другие функциональные слои, в том числе, в составе многослойных материалов и покрытий;
• в микроэлектронике как подложки электронных схем, светодиодов и солнечных батарей;
• и т.д.

В настоящее время нами получены методами осаждения из сепарированной плазмы вакуумной дуги на подложках из алюминия и стали однородные безпористые наноструктурированные слои Al₂O₃ толщиной до 20 мкм с напряжением пробоя не менее 1000 В.

Покрытие Al₂O₃ до определенной толщины полупрозрачное и имеет различный цвет в зависимости от толщины, обусловленный интерференцией света. Ниже приведены фотографии поверхности покрытия Al₂O₃ различной толщины. Неоравномерность цвета обусловлена интерференцией света на небольшом искривлении поверхности подложки.

КЕРАМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ Al₂O₃ РАЗЛИЧНОЙ ТОЛЩИНЫ