Вакуумные камеры

 

УЗЛЫ И СИСТЕМЫ

Вакуумные камеры

Система охлаждения и прогрева

Механизмы вращения

Вакуумная система

Газовая система

Источники плазмы

Источники электропитания

Источник питания подложки

Система управления

УЗЛЫ И СИСТЕМЫ

УСТАНОВКИ

Системы управления установками

Системы управления нашими установками построены на базе промышленных компьютеров и контроллеров. Установки могут работать как в полностью автоматическом, так и в ручном режимах. На фотографии представлен вид основного сенсорного экрана системы автоматического управления установкой с восьмью источниками плазмы.

Основной сенсорный экран системы автоматического управления установкой с восьмью источниками плазмы

 

Для модернизации установок старых моделей, системы и узлы которых не позволяют полностью автоматизировать процесс, разработаны системы управления на базе промышленного контроллера с частичной автоматизацией. На фотографиях представлены стойка управления и отдельные блоки управления установки с частичной автоматизацией.

Стойка управления модернизированной установки типа ННВ-6.6

 

Блок управления вакуумной системой, газовой системой и системой охлаждения и нагрева установки

 

Блок управления источниками плазмы

 

Шкаф сбора и предварительной обработки информации с низовых устройств установки