Механизмы вращения изделий.

Механизмы вращения изделий обеспечивают нанесение покрытий на изделия сложной формы и перемещение изделий и подложек под разные источники плазмы для нанесения сложных многокомпонентных и многослойных покрытий. В наших установках, как правило, используются механизмы трех типов:

• планетарный;
• двойной планетарный;
• механизм вращения в двух взаимноперпендикулярных или наклонных плоскостях.

Планетарный механизм обеспечивает одновременное вращение изделий вокруг своей оси и вокруг оси камеры установки. Вращение вокруг оси изделия обеспечивает нанесение покрытий на изделия с осевой симметрией. Вращение вокруг оси камеры обеспечивает перемещение изделий под разные источники плазмы, расположенные на боковых поверхностях камеры. Предусмотрены режимы работы:

• двойного вращения вокруг оси изделия и оси камеры;
• одинарного вращения только вокруг оси камеры для обработки крупногабаритных изделий с осевой симметрией;
• одинарного вращение изделия только вокруг своей оси с периодическим перемещением под разные источники плазмы.

Двойной планетарный механизм обеспечивает одновременно тройное вращение изделий вокруг своей оси, вокруг оси сателлита и вокруг оси к амеры - имеет дополнительное вращение вокруг оси сателлита по сравнению с планетарным механизмом. Используется для более рациональной загрузки камеры установки при обработки мелкоразмерных изделий с осевой симметрией.

Механизм вращения в двух взаимноперпендикулярных или наклонных плоскостях используется для нанесения на изделия сложной формы.

На рисунках приведены примеры механизмов вращения наших установок.

 

Планетарный механизм вращения. (Справа - с размещенными на нем изделиями).

 

Механизм вращения в двух взаимно перпендикулярных вертикальной и горизонтальной плоскостях.
Механизм показан с закрепленным на нем изделием - колесом турбины.(Справа - без защитных экранов).