|
![]() |
![]() ![]()
|
УЗЛЫ И СИСТЕМЫ |
Система подачи газа.Cистема подачи газа обеспечивает подачу смеси рабочих газов с автоматическим поддержанием соотношения различных газов в и автоматическим регулированием общего расхода для поддержания заданного давления в камере. На рисунке показана схема двухканальной системы подачи газа. Схема двухканальной системы подачи газа Система состоит из исполнительного блока и электронного программмируемого блока управления. Исполнительный блок изготовлен на базе высокоточных быстродействующих датчиков расхода газа и импульсных клапанов-натекателей. На индикатор блока управления в различных режимах выводятся:
Количество каналов системы определяется требованиями к конкретной установке. На рисунке показан пример двухканальной системы подачи газа.
Двухканальный исполнительный блок.
Блок управления. Справа показаны примеры индикациии различных параметров. |