Система подачи газа.

Cистема подачи газа обеспечивает подачу смеси рабочих газов с автоматическим поддержанием соотношения различных газов в и автоматическим регулированием общего расхода для поддержания заданного давления в камере.

На рисунке показана схема двухканальной системы подачи газа.

Схема двухканальной системы подачи газа

Система состоит из исполнительного блока и электронного программмируемого блока управления. Исполнительный блок изготовлен на базе высокоточных быстродействующих датчиков расхода газа и импульсных клапанов-натекателей. На индикатор блока управления в различных режимах выводятся:

• величины расходов газа по каждому каналу;
• соотношение расходов газов;
• давление в камере.

Количество каналов системы определяется требованиями к конкретной установке.

На рисунке показан пример двухканальной системы подачи газа.

 

Двухканальный исполнительный блок.

 

Блок управления. Справа показаны примеры индикациии различных параметров.