Высоковольтный источник питания подложки

Для реализации современных технологий требуются высоковольтные источники ускоряющего напряжения, работающие как в постоянном, так и импульсном режимах, с высокоэффективной быстродействующей защитой от возникновения микродуговых разрядов на поверхности подложки.

Высоковольтные источники наших установок выполнены на мощных быстродействующих транзисторных и диодных модулях по схеме с высокочастотным инвертором, работающим на частотах до 30 кГц. Представляют собой функционально завершенные изделия и собраны в 19 дюймовых конструктивах.

Высоковольтный источник питания подложки

Высоковольтный источник питания подложки имеет режимы работы как постоянного, так и импульсного напряжения с регулированием амплитуды, длительности и частоты следования импульсов. Типовые параметры источника:

• в постоянном режиме:
  • регулируемое напряжение от 30 до 1500 В;
  • максимальный ток до 40 А;
  • средняя мощность 25 кВт.
• в импульсном режиме:
  • амплитуда импульсов от 30 до 1500 В;
  • максимальный ток в импульсе до 50 А;
  • частота следования импульсов от 10 до 10000 Гц;
  • длительность импульсов от 10 до 1000 мкс;
  • скважность импульсов от 2 до 100;
  • средняя мощность 25 кВт.

Источник имеет высокоэффективную быстродействующую высокочастотную систему защиты от возникновения микродуговых разрядов. Время срабатывания защиты не превышает 10 мкс, что практически исключает возможность повреждения поверхности микродуговыми разрядами.

Для модернизации высоковольтных источников питания подложки установок старых моделей (типа ННВ-6.6) разработан высокочастотный импульсный модулятор, который подключается к штатному источнику установки.

Импульсный модулятор для источника питания подложки

Импульсный модулятор совместно с штатным источником установки обеспечивает подачу на подложку как постоянного, так и импульсного напряжения с типовыми параметрами:

• в постоянном режиме:
  • регулируемое напряжение от 30 до 1300 В;
  • максимальный ток до 20 А;
• в импульсном режиме:
  • амплитуда импульсов от 30 до 1300 В;
  • максимальный ток в импульсе до 45 А;
  • частота следования импульсов от 10 до 5000 Гц;
  • длительность импульсов от 40 до 1000 мкс;
  • минимальная длительность паузы 200 мкс.

Импульсный модулятор обеспечивает высокоэффективную быстродействующую высокочастотную защиты от возникновения микродуговых разрядов с временем срабатывания не превышающем 10 мкс.

В ряде моделей импульсный модулятор может встраиваться внутрь источника питания подложки. В том случае управление источником производиться со специальной панели размещенной на лицевой стороне шкафа источника питания.

Панель управления источником питания подложки с встроенным импульсным модулятором